“真空物理与表面科学”专委会成立于1979年，1989年更名为“表面科学”专委会，2004年变更为“表面与纳米科学”专委会，现任第九届表面与纳米科学专业委员会委员43人，包括10名院士和20余名杰青。中国真空学会表面与纳米科学专业委员会的专业领域涉及纳米加工、纳米生物、纳米催化、新型半导体、纳米信息材料与器件等前沿新兴交叉领域。表面与纳米科学专业委员会自成立以来，瞄准国际前沿科学问题，面向国家重大战略需求，组织和促进本专业领域的各种学术、咨询和科普等活动，包括：推动真空科学与技术的学科发展和表面纳米科技的应用；加强真空科学与技术在表面纳米领域的科学普及和专业咨询；促进真空科学与技术纳米科技专业人才的成长等。

       表面科学的出现源于微电子小型化的发展，超高真空获得和弱小信号监测的实现是表面分析的基本条件。中国学者在表面科学领域做出了很多出色的研究成果。在纳米科技方面，“硅表面的原子操纵”、用STM在有机薄膜上实现“纳米信号写入斑”、“纳米材料生成中的等离子体物理和表征”等研究成果多次被评为我国十大科技进展之一。

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