ULVAC面向MEMS的溅射技术
发布时间:2022年6月17日 来源: 爱发科商贸
ULVAC面向MEMS的溅射技术
MEMS,又叫微机电系统,是建立在微米/纳米技术基础上,对材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。
根据Yole研究预测,全球MEMS器件市场规模将从2020年的121亿美元增长至2026年的约182亿美元,复合增长率为7.2%。预计到2026年,10亿美元以上的MEMS细分领域包括射频类MEMS器件、MEMS惯性器件、MEMS压力传感器、MEMS声学传感器等。(引自GPLP犀牛财经)
爱发科的MEMS技术主要面向压电MEMS以及非制冷红外传感,本篇主要介绍其中的溅射环节。
压电薄膜
爱发科PZT溅射技术的发展
✔ x15 FOM 持续改善@15 years
※FOM = 击穿电压 V x 压电系数 C/m2
2.0μm-PZT薄膜的压电系数和击穿电压
✔提高了压电系数|e31| : 14.7 →15.5 C/m2
✔显著提高的击穿电压: ~100 →>200 V
经时介电击穿(TDDB)性能大幅提高
卓越的量产制造能力
✔Qualified deposition rate and Pb composition
✔ULVAC设备另一大优势是稳定的量产可靠性
VOx热敏电阻薄膜
TCR绝对值>2.3%/K
工作温度区间内无迟滞
厚膜VOx特性优化
✔Normal 60nm ⇒Thicker 120nm
热稳定性优化
✔新型硬件提高了250°C下的热稳定性
量产稳定性
✔出色的WIW和WTW电阻均匀性