KYKY磁悬浮分子泵技术及半导体行业应用

        5月19日，中科科仪磁悬浮分子泵技术及半导体行业应用线上直播成功举办。直播间内干货满满，精彩纷呈，让我们一起来回顾一下吧！

        本次线上直播设置了答疑环节，主讲人为每一位小伙伴耐心解答了直播过程中的问题，小编特将直播间的问答内容整理如下，以供大家参考：

1、油润滑、脂润滑、磁悬浮三种系列的分子泵各自的优劣势是什么？
        油润滑轴承分子泵结构简单、散热良好，但只能竖直安装，且不能获得完全洁净的真空。脂润滑轴承分子泵，可以实现多角度安装，方便客户使用，但仍然不能获得完全洁净的真空。磁悬浮轴承分子泵采用非接触式磁悬浮轴承，可以实现多角度安装，能获得完全清洁无油的真空，具有转速高、寿命长等特点，磁悬浮轴承分子泵是分子泵未来发展的趋势。

2、磁悬浮分子泵对使用的电磁等环境有什么具体要求？

        磁悬浮分子泵使用时要求周围磁场小于30高斯，辐射小于100000拉德。

3、分子泵在5Pa左右真空度下停机时，可以将分子泵高阀和前级阀全关，让分子泵在封闭的管道中自行停机吗？

        可以，分子泵可以在粗真空情况下自行停机。

4、磁悬浮分子泵为什么需要加热模块，这个是出于什么去考虑的？

        含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备，在集成电路刻蚀等工艺过程中，部分工艺气体容易冷却凝结，附着在分子泵转子及内壁，造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞，影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度，降低工艺气体凝结，提高分子泵稳定性及寿命。

5、磁悬浮分子泵的泵体烘烤温度最高可以达到多少？

        为了提高腔室真空度，可对腔室进行烘烤，温度约为200℃左右即可，同时对腔室与分子泵接口进行烘烤，温度不高于100℃，一般不对泵体本身进行烘烤。

6、分子泵有寿命吗？

        机械轴承分子泵和磁悬浮分子泵都是有寿命的，一般由分子泵最易损坏的部件决定。机械轴承分子泵的寿命受限于轴承寿命，所以磁悬浮分子泵寿命远高于机械轴承分子泵，受限于泵内电气元件的寿命。

7、中科科仪磁悬浮分子泵在光学镀膜、光伏发电等行业发展的怎么样？

        中科科仪磁悬浮分子泵已经在镀膜行业、光伏发电、LowE玻璃等产线中大批量使用。

8、升速过程中的涡轮叶片模态是集中的吗？

        分子泵在升速过程中的涡轮叶片模态集中在低速的几个区域，各型号分子泵的模态有一定的差异。

9、涡轮叶片模态是如何测得的？

        分子泵涡轮叶片模态一般通过仿真及试验的方法测得。 

10、磁悬浮分子泵可以实现变频工作状态中调整转速吗？

        磁悬浮分子泵可以实现在20%—100%额定转速范围内无级调整，用户可根据具体需求联系中科科仪销售人员进行定制。

11、我们的磁悬浮分子泵如果很长时间没有用了，该如何维护和保养呢？

        磁悬浮分子泵长期停用时，应先将分子泵充满干燥的惰性保护气体，如氮气、氩气等，保护泵内零部件和电子器件，然后密封泵的入口、排气口、充气口等，再将分子泵及控制器整体包封，保持干燥，入库存放。一般来说，磁悬浮分子泵长期放置3个月以上重新使用时，需对分子泵进行转子检查操作。 

12、我们刚刚购买了磁悬浮分子泵，初次使用安装的时候有什么需要注意的吗？

        除耐腐蚀型号磁悬浮分子泵外，其它任何磁悬浮分子泵都不能用于抽除腐蚀性气体；耐腐蚀型号磁悬浮分子泵在抽除腐蚀性气体时，必须给分子泵的保护气体入口连续通惰性保护气体，如氮气等。

13、如何连接冷却水路呢？

        冷却水接口采用快插式接口，用外径10mm的塑料软管与冷却水源连接，右侧水嘴进水、左侧水嘴出水。冷却水要求清洁、酸碱中性、低沉淀，水压约0.1～0.2MPa，水温20～25℃，流量≧1升/分钟，若分子泵出现冷凝水时，应适当降低分子泵工作的环境温度。
        一体磁悬浮分子泵有两路冷却水管路，分子泵和控制器均必须常通水冷却。特殊情况下，如加热时需要配置水阀，并自动控制泵的温度。

14、在磁悬浮分子泵的使用过程中，如果停电了，我们该采取什么样的措施呢？

        发生停电时，不要切断供电电源，应在排除停电原因后尽快恢复供电。因为停电后，电机会将转子机械能转换为磁悬浮轴承的耗能，当转子机械能降低一定程度后，不足以维持磁悬浮轴承耗能，此时转子会失去悬浮能力而发生失稳跌落，可能会导致泵的损坏。

15、分子泵的启动压强怎么计算呢？

        设被抽系统为V[m3]，前级泵抽速为Sr[m3/h]。
        当Sr/V＞40[h-1]时，分子泵和前级泵可同时启动，此时分子泵相当于一个阻流阀。
        当Sr/V≤40[h-1]时，被抽容积相对较大，应该先启动前级泵，待系统压强P≤5Pa时，再启动分子泵。

16、可以简单的介绍一下磁悬浮分子泵RS232/485通信吗？

        中科科仪系列磁悬浮分子泵控制器RS232/485通信采用的是Modbus通讯协议，Modbus是一种串行、异步通讯协议。此协议定义了一个驱动控制器能识别使用的消息结构，可以通过多种网络传输。

17、在工艺过程中，如果振动比较大，可以使用磁悬浮分子泵吗？

        如果确需在有震动的场合使用时，需要加装隔振器，以减少振动对一体磁悬浮分子泵造成的损坏。

18、磁悬浮分子泵在使用的过程当中出现故障时，应该如何拆卸、维修？

        当泵出现故障必须拆卸时，应：
        (1)确定泵处在停机状态，内外气压平衡，并切断电源和拆卸连接线缆。
        (2)如果泵抽除气体是腐蚀性气体，必须确认真空腔、泵内、前级管道内腐蚀性气体已被充分冲洗干净，泵内沉积物同样对人体有害，必要时，拆卸人员应戴防毒面具和手套。分子泵卸下后，应尽快除去沉积物，以防止沉积物与潮湿空气反应生成挥发物或对泵有腐蚀的酸、碱等。
        (3)泵卸下后，立即用洁净的塑料袋密封包装并封口，保存要求参照磁悬浮分子泵说明书中长期停用时的维护、保养及贮存条件。
        (4)如需返厂维护，还需退回相应部件及配件。

19、CV/CS型磁悬浮分子泵都是水冷吗？

        是的，CV/CS型磁悬浮分子泵的冷却方式都是水冷。

20、磁悬浮分子泵产品的发展前景怎么样？

        整体来讲，目前我国磁悬浮分子泵产品的发展前景是非常可观的。与国外厂商相比，中科科仪作为国内分子泵龙头企业，经过多年的研发、创新及技术积累，产品性能已经可以与国外企业同类优势产品媲美，而且高性价比竞争优势也逐渐凸显。未来，搭乘我国国产化政策红利，与时俱进，还会有更大的发展空间。
 
        最后，感谢各位参加中科科仪磁悬浮分子泵技术及半导体行业应用直播。后续我们将推出更多有趣、有料的线上直播活动，干货满满，惊喜多多，敬请期待！