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科普专题

如何更加准确地测试真空系统的压力?

发布时间:2025年2月14日 来源:EDWARDS真空解决方案公众号

如何更准确地测试真空系统的压力

真空规是真空泵系统中不可或缺的关键部件。它们的正常运行直接关系到客户工艺的顺利推进,一旦出现异常,不仅会导致现场故障排查困难重重,还可能让使用者误以为是其他部件的问题,耗费大量时间和精力最终却发现仅仅是真空规读数异常。可以说,真空规的稳定性对整个系统的运作至关重要。

 

准确测试真空系统压力的注意事项

01 避免倒装真空规

避免倒装真空规,防止污染导致的真空规读数不准。(有些原理的真空规在不考虑污染的情况下,不同的安装方向读值也存在差别。)

02 注意细长管道导致测试偏差

细长管道导致测试值和腔体真实值偏差较大,尤其在过度流和分子流的情况下 。如果您的系统存在这样的情况,欢迎联系我们进行差值的评估。

03 防止材料溅射污染真空规

避免材料溅射的方向正对真空规口,会导致真空规污染,影响测试值的准确性。

04 避免气流直冲真空规入口

避免气流的方向正对真空规管的入口方向,尽量使被测气体以扩散的方式进入到真空规内。

05 隔离或消除振动源

避免将真空规置于有震动的环境中,如有震动,需隔离/消除震动源。

06 屏蔽强磁场和电离辐射

避免将真空规置于强磁场或电离辐射的环境。可根据需要采取屏蔽措施或者使用被动真空规(电气部件和传感器分离)。

07 防止气体冷凝

避免气体冷凝在真空规管内,影响测试结果的准确性。

08 注意腐蚀性气体

如果是腐蚀性的气体,建议使用耐腐蚀版本的真空规(建议根据组分和浓度具体问题具体分析)。

09 减少温度波动

降低温度波动对真空规测试结果的影响,安装位置应远离温度波动。