真空镀膜

*[1]  J. Vac. Sci. Technol., Vol. 11, No. 4, July/Aug. 1974.   [2]  王治乐.薄膜光学与真空镀膜技术[M].哈尔滨：哈尔滨工业大学出版社，2013：151-174.

真空镀膜是一种在真空环境下对材料表面沉积高质量薄膜的技术。

在日常生活中，真空镀膜技术可谓是无处不在，我们戴的眼镜、用的手机、日常出行开的汽车……都与真空镀膜息息相关。

目前真空镀膜技术已经应用于屏幕显示、光学镜头等消费电子领域，家居建材和生活用品等其他消费品领域，航空、太阳能、半导体、核工业、柔性薄膜等工业领域，以及高校科研院所等先进科学研究领域。

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真空镀膜设备通常由真空腔体、镀膜系统、温控系统、真空测量、真空获得、电源、供气系统、机械手、工件装载等模块构成。

不同行业的真空镀膜对真空系统的要求各有不同。

真空系统的设计不仅需要满足真空度、抽空时间、生产节奏的基本要求，还要考虑工艺真空时对工艺气体，材料放气等的处理能力。

现代化的工业还对真空获得和真空测量等的系统集成化、智能化、低能耗、环境友好提出更高的要求。